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洁净工作台检测 |
洁净工作台检测项目有:外观、功能、扫描检漏、引射作用、截面风速、进风风速、非单向流洁净工作台风量、空气洁净度、噪声、照度、振动幅值、操作空间气流状态。 |
执行标准:JG/T 292-2010《洁净工作台》 |
判定标准: YY/T 1539-2017《洁净工作台》 |
现场检测时间: |
洁净工作台检测所使用的仪器 |
检测仪器必须经过检定并校正合格, 并在其规定的有效期内使用。仪器清单如下: 1、尘埃粒子计数器(粒径分辨率由 0.3µm 或0.1µ m 起 始),取 样 流量为 2.83L/ min、 28. 3 L/ min 或更大流量; 2、热 球 式风速仪或风量测试仪,仪器测量误差在满量程的士3% 之内; 3、声级计 ,测量范围宜为 40 dB(A)-100 dB(A); 4、照度计,测量范围为 0 lx-1 000 lx; 5、振动仪,最小灵敏度达到 2. 5 µm 振幅有效值; 6、 气溶胶发生器。 多分散发生气溶胶,可发生 PSL、DEHS 等气溶胶,发生浓度可调,一般应大于 104 粒 / L ; 多分散 DOP 气溶胶(冷发烟)发生器,其浓度通常达 80 µg/ L- 100 µg/ L; 7、 光度计,对 DOP 气溶胶(冷发烟)浓度的测量范围为 0. 001 µg/ L- 100 µg/ L。
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YY0569-2011 | |||||
序号 | 参数名称 | 技术要求 | 单位 | 性能参数 | |
1 |
扫描检漏a | 大气尘或人工尘,下游粒子浓度 | 粒/ L | ≤3 | |
DOP 法检漏,穿透率 | % | ≤0.01 | |||
2 |
引射作用. | 大气尘或人工尘,下游粒子浓度( O. 5µm) | 粒/ L | ≤10 | |
DOP 法检漏 ,穿透率 | % |
≤0.01 | |||
3 |
风速 | 平均风速 | 单向流洁净工作台操作区平均风速 | m/s | 0.2-0.5 |
不均匀度 | 风速的相对标准偏差 | % | ≤20 | ||
4 |
进风风速 | 进风口设在洁净工作台操作人员腿部的进风口平均风速 |
m/s |
≤1 | |
5 |
风量 | 非单向流洁净工作台的换气次数 | h-1 | 60-120 | |
非单向流洁净工作台额定风量的波动范围 | % | 士20 | |||
6 |
空气洁净度 |
操作区的空气洁净度级别 |
级 | 洁净度 5 级( HEPA) ; 优于洁净度 5 级(ULP A) | |
7 |
沉降菌浓度 | 操作区台面平均菌落数(只对用于生物洁净用途的工作台有此要求) |
cfu/ ( 皿 0. 5 h) |
≤0.5 | |
8 |
噪声 | 前壁板水平中心向外 300 mm, 且高于地面 1.1m 处的整机噪声 |
dB |
≤65 | |
9 | 照度 | 操作区台面上的平均照度(无背景照明) | lx | ≥300 | |
10 | 振动幅值 | 操作区台面几何中心的垂直净振幅 | µm | ≤5 | |
11 | 气流状态 | 操作空间垂直气流试验(垂直单向流洁净工作台) | 气流流线应垂直于台面或出风面,不得有死角和回流 | ||
操作空间水平气流试验(水平单向流洁净工作台) | 气流流线应平行千台面或出风面,不得有死角和回流 |