洁净室检测-电子厂尘埃粒子测试 GB50472-2008 电子厂房设计规范同GB50073-2013洁净厂房设计规范洁净度的测试方法一致

洁净室检测-电子厂尘埃粒子测试洁净度的检测，应符合下列规定：

1、应使用采样量大于1L／min光学粒子计数器（激光尘埃粒子计数器），应根据粒径鉴别能力、粒子浓度适用范围和计数效率等要求选用仪器。仪器应有有效的标定合格证书。

2、最少采样点应按下式计算：

N_L＝√A

式中N_L——最少采样点；

A——洁净室或被控洁净区的面积(㎡)。

3、采样点应均匀分布于洁净室(区)的整个面积内，并应位于工作区的高度，活动高度宜距离地面0.8m;每个采样点的最小采样时间为1min.

4、每一采样点的每次采样量应至少为2L，采样量应按下式计算：

Vs={20/ Cn.m}×1000

式中：Vs——每个采样点的每次采样量，以L表示；当Vs很大时，可使用顺序采样法；
Cn.m——被测洁净室空气洁净度等级的被测粒径的限值(pc/m3)；
20——在规定被测粒径粒子的空气洁净度等级限值时，可测到的粒子颗数(pc)。
5 、当洁净室或洁净区仅有一个采样点时，则在该点应至少采样3次。

洁净室检测-电子厂洁净度尘埃粒子测试 判定参考表格