F1.5，N0.7，FN1.5

F2

F5，N2.5，FN5

F15

F

N

F

F

N

F

EPK测厚仪测量范围

0-1.5mm

0-0.7mm

0-2mm

0-5mm

0-2.5mm

0-15mm

使用范围

小工件，薄涂层，跟测量支架一起使用

粗糙表面

标准探头，使用广泛

厚涂层

测量原理

磁感应

电涡流

磁感应

磁感应

电涡流

磁感应

信号处理

探头内部32位信号处理（SIDSP）

度

±（1μm 0.75%读值）

±（1.5μm 0.75%读值）

±（5μm 0.75%读值）

重复性

±（0.5μm 0.5%读值）

±（0.8μm 0.5%读值）

±（2.5μm 0.5%读值）

低端分辨率

0.05μm

0.1μm

1μm

zui小曲率半径（凸）

1.0mm

1.5mm

5mm

zui小曲率半径（凹，外置探头）

7.5mm

10mm

25mm

zui小曲率半径（凹，内置探头）

30mm

30mm

30mm

zui小测量面积

Φ5mm

Φ10mm

Φ25mm

zui小基体厚度

0.3mm

40μm

0.5mm

0.5mm

40μm

1mm

连续模式下测量速度

每秒20个读数

单值模式下zui大测量速度

每分钟70个读数