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旋片式真空泵的介绍
旋片真空泵是以泵为主泵，以旋片真空泵为前级泵的串联而成的。旋片真空泵选用的旋片泵作为前级泵，因此它克服了旋片真空泵在使用时一定压力下的抽气速率低的缺点，并且同时保留了罗茨泵能迅速的工作，优点有比较大抽气速率等。
因为旋片真空泵的结构紧凑、占地面积小，所以可以替代多台机械式真空泵，因此旋片真空泵机组广泛地用于在真空冶炼、电力电容器、变压器真空热处理、真空镀膜设备的预抽，电真空半导体等行业中与泵油不会起化学反应的也不会含有颗粒尘埃的气体。
