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MX12R技术规格。
光学系统:无限远色差校正光学系统
观察方式:明场/暗场/偏光/DIC
观察筒:无限远铰链三通观察筒,0-35°倾角可调,正像, 瞳距调节:50-76mm,分光比100:0 或0:100。
目镜:高眼点大视野平场目镜PL10X/25mm,视度可调,可带单刻度十字分划版
物镜:明暗场半复消金相物镜(5X、10X、20X、50X、100X)
超长工作距明暗场半复消金相物镜(20X)
长工作距明暗场半复消金相物镜(50X、100X)
明场半复消金相物镜(5X、10X、20X、50X、100X)
超长工作距明场半复消金相物镜(20X)
转换器:明暗场六孔电动转换器,带DIC插槽
机架组:反射式机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统
透反机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统
载物台:12 英寸三层机械移动平台,低手位 X、Y 方向同轴调节 ;平台面积 718mmX420mm,移动范围 :356mmX305mm ;带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动 ;玻璃载物台板 ( 反射用)
照明系统:12V100W卤素灯 , 明暗场反射照明器,带可变电动孔径光阑,视场光阑,中心均可调;带明暗场照明切换装置;带滤色片插槽与偏光装置插槽
摄影摄像:0.5X/0.65X/1X摄像接筒,C型接口,可调焦
其他:起偏镜插板,固定式检偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板;反射用干涉滤色片组;高精度测微尺;DIC组件;12寸晶圆盘