TFC化学气相沉积-微型单温区CVD系统
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安徽科幂仪器有限公司
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微型单温区CVD系统管式炉是一款小型化学气相沉积薄膜类制备设备,该设备在常规产品上进行了一系列的改进,包括:供气系统集成、真空系统集成等。体现出体积小、操作方便、智能化程度高等特点。
1.双层空气冷却钢壳保持炉表面温度低于60°C;
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