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合肥市所在地
| 部件名称 | 主要技术参数 | 数量 | 单位 |
| 柱塞计量泵 | 美国SSI Series I | 3 | 台 |
| | 出口流量0.01-4.99mL/min。 | | |
| 气体质量流量控制器 | 北京七星D07，流量5L/min，型号D07-11C。 | 3 | 台 |
| 单向阀-缓冲罐组 | 316L不锈钢材质。外径约56mm，高度约170mm。 | 3 | 台 |
| 加热炉 | 双半圆开式炉，炉膛内径20mm，长度为1000mm。 | 2 | 台 |
| | 设计温度600℃，三温区控温。 | | |
| | 炉外壳材质为304不锈钢 | | |
| 反应管 | 外径20mm内径9mm的316L不锈钢管2根，长度为800mm。设计温度600℃，设计压力10MPa。 | 2 | 批 |
| 冷凝罐-接收罐组 | 316L不锈钢材质。罐体外径约73mm，高度约110mm。配循环冷却水接头。 | 2 | 套 |
| 阀门、接头、管件 | 全套阀门、卡套接头采用美国FITOK，316材质。 | 1 | 批 |
| | 背压阀采用美国Swagelok，316材质。 | | 台 |
| | 配置乙炔、氢气报警器。 | | |
| 电控箱 | 控制两路气体质量流量，并控制汽化器、加热炉的温度。采用厦门宇电程序控温仪表。 | 1 | 个 |
| 支架 | 采用304不锈钢方管和不锈钢拉丝板焊接制作台式支架 | 1 | 个 |
| 报警器 | 配置氢气、乙炔报警器 | 1 | 台 |
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