光学仪器

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2021-07-28 11:24:48
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产品简介

WaveMaster® 多功能球面及非球面波前测试系统﹡ 概述 WaveMaster® 是应用于球面及非球面光学波前实时测量和分析的新型设备,具备高空间分辨率和精度,可轻松的建立有限轭或无限轭结构,并整合了波前传感技术。高精度、可5维调节的样品夹持器使被测样品的调节简单快速。

详细介绍

WaveMaster LAB 精密多功能球面及非球面波前测试系统

概述:
WaveMaster 是应用于球面及非球面光学波前实时测量和分析的新型设备。WaveMaster 具备高空间分辨率和精度,可轻松的建立有限轭或无限轭结构,并整合了波前传感技术。同时高精度的、可5维调节的样品夹持器使被测样品的调节简单快速。系统主要特征包括:
• 非球面透镜检测以波前传感器作为测量工具
• 实时波前监测
• 高空间分辨率和精度
• 快速的非球面透镜透射式测量
• 可对有限轭及无限轭样品测量
• 配套工具使被测样品的调节快速可靠
• 简便的操作和快速的测量适用于批量生产;
• 可提供波前图、Zernike系数等各种数据
• 封闭式设计可排除周围环境影响,使各种元件顺利测量
• 防振式结构,避免振动影响
相关软件可通过多种方式测量和显示波前数据。同时也包括扩展的分析功能和数据储存。另外可导入理论数据与测量的实际数据对比。


系统组件:
波前传感器:
• 孔径尺寸:15×15 mm2
• 被测透镜阵列: 128×128
• 动态倾斜范围:>±3° (1500λ)
• 动态聚焦范围:±0.03 m ~ ±∞ (1800λ)
• 光谱范围:350 — 1100 nm
• 重复性(RMS):<λ/200
• 波前相对)精度(RMS):λ/20 (λ/50)
• 倾斜测量灵敏度:< 1μrad
• 聚焦测量灵敏度:5×10-4 m-1
• 测量频率:3.5 Hz
• 14 bit – Firewire 照相机
激光光源:
• 波长635nm
• 可用作准直光源(Φbeam≥ 5 mm,WF < λ/15 P.V.)或点光源(NA0.7)
光学成像系统:
• 建立有限式和无限式测量
• 根据不同系统的放大倍率更换望远系统
• 更换准直物镜
高精度5维样品调节夹持器:
• 增加自准直仪的倾斜控制和调整功能


软件:
波前采集和显示:
• 或相对式测量
• 减少背景光线
• 波前、边缘以及相位的2D或3D的实时显示
• 峰谷值和RMS值的实时显示
• 光强显示
• 倾斜度显示
• 实时照相机成像
• 样品调整工具(倾斜及位置调整)
• 倾斜和散焦的实时修正
波前分析:
• 实时泽尔尼克分析
• 被测、定制和剩余波前的实时显示(2D和3D)
• 横截面的实时显示
• Zernike 系数的数字和图形显示
• 系数的自由选择,包括在分析过程中的输入和删除
• 导入波前理论数据与测量数据对比
• 不同波前和系数的显示
测量数据储存类型:
• 倾斜数据
• 波前数据
• Zernike 系数数据
• 完备的测量报告包括:测量环境、测量结果的图形和数字显示以及Zernike 系数列表


其他:
• 具体的测量设置可被分别储存于不同文件并重新导入
• 被测样品相关信息存入数据文件
• 帧数 > 5Hz (取决于照相机帧数)
• 单位:μm 或λ


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