光学仪器
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上海特彩仪器设备有限公司
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概述: WaveMaster 是应用于球面及非球面光学波前实时测量和分析的新型设备。WaveMaster 具备高空间分辨率和精度,可轻松的建立有限轭或无限轭结构,并整合了波前传感技术。同时高精度的、可5维调节的样品夹持器使被测样品的调节简单快速。系统主要特征包括: • 非球面透镜检测以波前传感器作为测量工具 • 实时波前监测 • 高空间分辨率和精度 • 快速的非球面透镜透射式测量 • 可对有限轭及无限轭样品测量 • 配套工具使被测样品的调节快速可靠 • 简便的操作和快速的测量适用于批量生产; • 可提供波前图、Zernike系数等各种数据 • 封闭式设计可排除周围环境影响,使各种元件顺利测量 • 防振式结构,避免振动影响 相关软件可通过多种方式测量和显示波前数据。同时也包括扩展的分析功能和数据储存。另外可导入理论数据与测量的实际数据对比。系统组件: 波前传感器: • 孔径尺寸:15×15 mm2 • 被测透镜阵列: 128×128 • 动态倾斜范围:>±3° (1500λ) • 动态聚焦范围:±0.03 m ~ ±∞ (1800λ) • 光谱范围:350 — 1100 nm • 重复性(RMS):<λ/200 • 波前相对)精度(RMS):λ/20 (λ/50) • 倾斜测量灵敏度:< 1μrad • 聚焦测量灵敏度:5×10-4 m-1 • 测量频率:3.5 Hz • 14 bit – Firewire 照相机 激光光源: • 波长635nm • 可用作准直光源(Φbeam≥ 5 mm,WF < λ/15 P.V.)或点光源(NA0.7) 光学成像系统: • 建立有限式和无限式测量 • 根据不同系统的放大倍率更换望远系统 • 更换准直物镜 高精度5维样品调节夹持器: • 增加自准直仪的倾斜控制和调整功能软件: 波前采集和显示: • 或相对式测量 • 减少背景光线 • 波前、边缘以及相位的2D或3D的实时显示 • 峰谷值和RMS值的实时显示 • 光强显示 • 倾斜度显示 • 实时照相机成像 • 样品调整工具(倾斜及位置调整) • 倾斜和散焦的实时修正 波前分析: • 实时泽尔尼克分析 • 被测、定制和剩余波前的实时显示(2D和3D) • 横截面的实时显示 • Zernike 系数的数字和图形显示 • 系数的自由选择,包括在分析过程中的输入和删除 • 导入波前理论数据与测量数据对比 • 不同波前和系数的显示 测量数据储存类型: • 倾斜数据 • 波前数据 • Zernike 系数数据 • 完备的测量报告包括:测量环境、测量结果的图形和数字显示以及Zernike 系数列表其他: • 具体的测量设置可被分别储存于不同文件并重新导入 • 被测样品相关信息存入数据文件 • 帧数 > 5Hz (取决于照相机帧数) • 单位:μm 或λ
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