■ 技术特点：
在更短时间内收集更丰富的信息
加快纳米断层成像和纳米加工的速度：将低电压 SEM 性能与高达 100 nA 的 FIB 束流相结合。
获取的信息：运用多探测器采集及 同步刻蚀与成像能力 。
使用 GEMINI 技术和可选配的 ATLAS 3D 软件包检测高达 50 k x 40 k 像 素的大视野范围。
流程控制
在对环境条件要求苛刻的长时间实验中具备稳定性，并能够提供均匀一致的光束剖面。
采集时可以完成系统参数的实时更改，如探针电流或加速电压，而无需对图像进行调整。图形用 户 界面操作直观简便。
应用领域
■
