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脱水干燥方法和装置,以及衬底处理装置

2006/6/26 10:25:57

发明人：阿藤浩司;户川哲二

脱水干燥方法脱水和干燥衬底。在不旋转的情况下脱水和干燥衬底（15）同时衬底（15）容纳在用来在用于执行一些处理的装置间承载衬底（15）的载体（10）中。　

权利要求
一种用于脱水和干燥衬底的脱水干燥方法，包括：脱水和干燥衬底，同时将衬底容纳在用来承载衬底的载体中。

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