本发明涉及干燥基片的装置及方法。发明的装置包括：在加工槽中用来支撑至少一个基片的物体支撑部件，加工槽中有一个或多个支撑部分含有毛细材料。本发明方法是在加工槽中，将湿基片与毛细材料接触除去湿基片中的液体。另一方面，本发明是一种在加工槽中干燥至少一种具有表面的基片的方法，该方法包括：将基片浸入在具有液面的液体中；在加工槽中支撑该浸入的基片；在液面上方提供一种干燥气体；降低液面或者提升基片使得液面低于基片，从而除去基片表面的大部分液体；用毛细材料除去基片表面留下的液体。
【权利要求】
1.用来干燥至少一个基片的装置，包括：用来在加工槽中支撑至少一个基片的物体支撑部件，该支撑部件具有由毛细材料构成的一个和多个支撑部分。
L·J·麦兰德
留言