一、开机准备
1、确认电源、水源、排放管路均已连接正常。
2、打开外壳检查各部分仪表、泵、电磁阀等是否正常。
3、空载测试泵是否正常运行。
二、开始操作
1、打开水源，让水流浸泡进进口过滤器中，待水流渗透进内层过滤器后，可开启循环泵开始循环运转。
2、开启终端放水电磁阀，并根据表格所示循环数量，开始进行蒸发器第一次预加热，这个过程中，进出水温差不得大于2℃。
3、等蒸发器预加热后，再将系统内电磁阀开封，开始蒸馏器预加热处理，进出水温差不得大于2℃。
4、当蒸馏出水温度稳定在90℃左右时，打开首端高温电磁阀:让热水进入换热器，升高第一段预加热器出口水温至70℃左右小循环泵开始运转，使得水循环，换热器内两种水并未混合。
5、当第一段预加热器出口温度稳定在70℃左右时，打开高温电磁阀和循环泵电磁阀，使循环泵开始运行，高温电磁阀让高温水进入第二段预加热器，提高出口水温至约85℃左右，同时，小循环泵将高温水送到换热器内与蒸汽进行换热，生成超纯水。
6、待生成的水流达到要求后，先关闭小循环泵电磁阀，再关闭高温电磁阀和循环泵电磁阀，用超纯水循环清洗换热器，将器内残留的污垢冲洗干净。
7、等水流量降至一定程度后，再关闭终端放水电磁阀，等待水流留存于超滤器内过几分钟，最后关闭泵、缩空气源，按下电源开关，整个过程完成。
