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BS-80011BPG产生高密度等离子体的内置型等离子源
安装在真空室内产生高密度等离子体的等离子体源。利用和真空蒸镀结合的等离子体辅助沉积技术（离子镀），能提高光学薄膜、保护膜、功能膜等的薄膜特性。另外，还可以用作等离子处理如对清洗基板和表面改性也很有效。
· 产品规格
放电输出 | 3.2kW (160V, 20A) |
辅助输出功率 | 2kW (200V, 10A) |
工作压力 | 8×10-3 ～ 8×10-2Pa (Ar, O2, N2 气氛) |
放电气体(Ar) | 8 ～ 20mL/分 |
适用控制电源 | BS-92040CPPC |
