Tergeo系列台式等离子清洁仪

Tergeo系列台式全自动等离子清洁仪具有清洁、灰化、刻蚀等功能，可用来清洁纳米级样品，去除光刻胶，清洁晶圆和集成电路键合焊盘，进行煤和有机物的灰化，激活聚合物、金属和陶瓷表面官能团，获得表面亲水性，提高键合强度和可印刷性，促进科研生物相容性。可集成浸入式和远程式两种等离子源，既可清洁电镜光阑和TEM样品杆，也可清洁石墨烯、碳纳米管、类金刚石碳和TEM载网多孔碳膜等脆弱的精细样品。

Tergeo系列具有三种型号：

1）Tergeo 等离子清洁仪：这是一款经济实用的等离子清洁仪。

2）Tergeo-Plus大腔室等离子清洁仪：这是一款具有大样品室的等离子清洁仪，可清洁宽达150mm的样品。

3）Tergeo-EM等离子清洁仪：用于TEM样品杆清洁以及去除SEM & TEM样品的碳氢污染。

仪器特点：

• Tergeo系列是能在一个系统中支持两种清洁模式的等离子清洁仪。

Tergeo-EM标配双等离子源、并且具有清洁TEM样品杆的功能；其余两款

标配浸入式等离子源，用于样品表面清洁、蚀刻、灰化，可选远程式等离

子源用于温和的污染清除及脆弱易损样品的表面活化。

• 采用离子体强度传感器技术，实现实时定量测量等离子强度

• 13.56MHz射频发生器，自动阻抗匹配调谐，双源版本可脉冲工作

• 直观的触摸屏用户界面，可储存20条用户程序，全自动运行

• 采用MFC(质量流量控制器)调节的气体输送控制

• 高纯石英样品腔室和样品托

推荐应用：

• 集成电路芯片引线键合和封装前的清洁

• 清洁TEM和SEM样品，去除烃污染

• 亲水性或疏水表面润湿性等离子处理

• 增强环氧树脂/胶水粘合强度

• 用于清洁光学、激光、通讯用玻璃和光纤头

• 改善MEMS微流体器件的润湿性

• 蚀刻光刻胶

• 剥除被膜，用于失效分析

• 隐形眼镜、科研植入物等类型科研的表面处理和激活

实验结果的一致性和可重复性对于科研和生产运行是至关重要的。因此，

我们集成了多种过程控制技术来监测和控制关键参数，如等离子体传感

器、压力传感器和气体输入的自动质量流量控制器。Tergeo等离子清洗

机的操作是全自动的。直观的用户界面，加上7英寸的触摸屏，使本系

列仪器的操作像智能板一样简单。嵌入微控制器支持20个可定制的配方

程序。Tergeo系列等离子体处理系统采用*的工艺控制技术，可为不

同用户提供重复的日常运行性能。

Tergeo系列台式等离子蚀刻和表面清洁系统可用于研究、开发等应用。TEM用户，请选用我们的Tergeo-EM具有清洁TEM样品杆功能的等离子清洁仪；TEM和SEM及其它用户也可查看EM-KLEEN远程等离子清洁系统。对于样品杆储存等应用，可选用多用途样品清洁及储存腔室。