微波真空干燥设备是微波能技术与真空技术相结合的一种新型微波能应用设备，它兼备了微波及真空干燥的一系列优点，克服了常规真空干燥周期长、效率低的缺点，在一般物料干燥过程中，可比常规方法提高工效4～10倍。
具有干燥产量高、质量好，加工成本低等优点，微波真空干燥设备是一项集电子学、真空学、机械学、热力学、程控学等多种学科为一体的*产品，是在干燥过程中对物质的物理变化、内外热质交换以及真空条件下水分迁移过程的深入研究的基础上，发展起来的一项新技术、新工艺。工业化大生产中，有许多物品是不能在高温条件下进行干燥处理的，例如一些药品、化学制品、营养食品以及人参、鹿茸等高档中草药材，特别是对中药浸膏的干燥更具有高质量、高效益的特点，为了保证产品质量，其干燥处理必须在低于100℃或在室温的条件下进行，*气压降低，水的沸点也降低，如在一个大气压（101.3kpa）下，水的沸点是100℃，而在-0.073mpa（7.37kpa）下，水的沸点是40℃，而在-0.09mpa下，水的沸点33℃，可以实现在低温下对物料进行干燥，因此，在真空条件下，加热物体可使物体内部水分在无升温状态下蒸发。例如WBZ智能化静态微波真空干燥机*可以实现。
常规真空干燥中由于真空条件下空气对流传热难以进行，只有依靠热传导的方式给物料提供热能，传热速度慢、效率低，并且温度控制难度大。微波加热是一种电磁波加热，微波直接作用于物料，使其里外同时被加热，无须通过对流或传导来传递热量，所以加热速度快，干燥效率高，温度控制容易。