技术参数：

洁净等级 ISO 5（100级）

洁净度 99.995%@0.3um（美国联邦标准209E）

风速 0.36m/s－0.54m/s

气流结构 垂直单向流

电源 220V 50Hz

产品特征：

??箱体采用304 不锈钢制作，工作区的保护门采用有机玻璃，便于观察和

清洁。

??过滤单元采用液槽式密封，保证过滤器和箱体连接处不泄漏。

??风机采用变频无极调速，运行稳定，低耗节能。

电气系统采用PLC 控制，风速传感器传出信号，经过PLC，对变频器自

动调频，保证风速在0.40m/s-0.50m/s 之间。

??配备高效过滤器压差开关，当压差超过300Pa 的时候会自动报警，就应

当更换高效过滤器。

??配备高效过滤器和粗效过滤器两端压差表，PAO发尘孔和检测孔。