EQ-10，EQ-10HR，EQ-10HP，EQ-10SXR无电极Z-PinchTM EUV（极紫外）、SXR（软X射线）光源系列
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Energetiq光源是一款高亮度，高稳定、长寿命宽谱光源，采用革命性的光源技术——LDLS™激光驱动光源技术，这种光源从170nm通过可见光到近红外2100nm范围内亮度*、光谱平坦，寿命比传统光源高一个数量级。
无电极Z-PinchTM EUV（极紫外）、SXR（软X射线）光源系列
Energetiq*的技术基于Z-Pinch等离子体，但是*不使用电极而是通过电感将电流耦合进入等离子体中。Energetiq光源中的等离子体通过磁性远离光源内壁，能够将热负载消除到极低并减少残留碎屑。Energetiq的无电极Z-Pinch技术有的空间稳定性和稳定的可重复输出功率。
主要特点
输出波长13.5nm，2nm-4nmTM
输出功率10W@13.5±1%（可选20W型号）
重复频率2kHz（可选10kHz型号）
无电极Z-Pinch技术
符合CE标志和SEMI S2-0703
主要应用
EUV度量学
耐EUV开发
缺陷检测
EUV显微学
水窗显微镜（XSR版本）
选型指南
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型号 | EQ-10 | EQ-10HR | EQ-10HP | EQ-10SXR |
输出功率 （用氙气在2π球面） | 10W,13.5nm,±1%宽带 | - | 20W,13.5nm,±1%宽带 | 400mW,2.8nm,产生2-4nm软X射线 |
脉冲重复率 | 1200 to 2000 Hz | 10kHz | 1200 to 2500 Hz | 2kHz |
尺寸 | 小等离子体尺寸 | |||
残留情况 | 低残留 | |||
工作压强 | 一般70到100 mTorr | 一般150 mTorr | 一般70到150 mTorr | - |
氙气流速 | 一般5到15 sccm | 一般100 sccm | 一般5到15 sccm | - |
低成本 | 氙气流速低，将消耗成本降低，占地面小 | |||
可靠性强 | 无电极Z-Pinch技术，符合CE标志和SEMI S2-0703 | |||
应用 | EUV度量学 耐EUV开发 缺陷检测 EUV显微学 | EUV光学元件测量 EUV计量学 耐EUV开发 缺陷检测 EUV显微学 | EUV掩膜检测 EUV度量学 耐EUV开发 EUV显微学 | 水窗显微镜 细胞微光束探测 |
