电子显微镜的观察极限
时间：2021-03-30 阅读：1203
按理论计算，电子显微镜分辨本领的极限在3埃左右。此值与2~3种金属原子的大小处于同一数量级，这就意味着用电子显微镜有可能直接看到原子。
市场上出售的电子显微镜，根据其分辨本领可分为：超高分辨本领级、高分辨本领级、普通分辨本领级三等。
超高分辨本领级：达到原子水平的分辨本领，可把原子一个一个分别开观察。
高分辨本领级：只能把数个原子组成的集团作为一个点来观察。
普通分辨本领级：大于20埃的分辨本领。
| 超高分辨本领级 | 高分辨本领级 | 普通分辨本领级 |
分辨本领 | <10(1nm) | 10-20 | 20< |
直接放大率 | -200,000 | -100,000 | -10,000 |
加速电压(千伏) | 100 | 80-100 | 50 |
聚光镜 | 双聚光镜 | 双聚光镜 | 单聚光镜 |
消像散装置 | 不可缺 | 不可缺 | 不可缺 |
电源稳定度 | ＜10-5 | 10-4-10-5 | ＜10-4 |
真空度(毫米汞柱) | 10-5 | 10-4-10-5 | -5×10-4 |
实验室获得电子显微镜分辨率本领理论极限值的意义：仅仅考虑电子束和透镜系统而推算出来的。作为实验室必须考虑到镜体的振动，样品漂移的稳定性，外部磁场的影响，样品和透镜光阑的“污染”，合轴调整，消像散等许多因素。
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