CY-MSP500S-DCRF-RE双靶DCRF磁控溅射镀膜仪(...
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郑州成越科学仪器有限公司
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名称
往复样品台型双靶磁控溅射镀膜仪(直流+射频)
CY-MSP500S-DCRF-RE
1.能量高速度快
2.磁控靶配有水冷夹层避免热量在靶面聚集 3.样品台采用往复式设计,左侧配有磁力耦合推杆,可将样品台左右推动
4.采用单靶独立、多靶轮流或组合共溅,向心溅射 5.PC+PLC全自动控制
1. 供电电压 AC220V,50Hz
2. 整机功率 6KW 3. 极限真空度 5x10-4Pa 4. 载样台参数 尺寸 100*100mm;往复行程200mm 5. 磁控溅射头参数 数量 2个2”磁控溅射头;冷却方式 10L/min流速的循环水冷机 6. 真空腔体 尺寸 φ500mm X 490mm H; 材料 不锈钢; 观察窗口 φ100mm;上顶开式,便于更换靶材 7. 气体流量控制器 1路200sccm Ar; 8. 真空泵 配有一套分子泵系统,抽速600L/S 9. 膜厚仪 石英振动薄膜测厚仪一台,分辨率0.10 Å 10. 溅射电源(1DC 1RF) 直流电源,500W,适用于制备金属膜 射频电源,500W,适用于非金属镀膜 11. 操作方式 一体机电脑操作
整机尺寸 1090mm X 900mm X 1250mm
整机重量 350kg
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