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本设备为桌面型行星式单靶磁控镀膜仪,腔体下半部为不锈钢机构,上部为高纯石英,兼顾了真空性能和容纳复杂样品台的功能型。设备外形为桌面级别,大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源,可用于金属及其他导电材料的溅射。设备真空系统采用涡轮分子泵组,抽气速度快,极限真空度高,真空性能优异。本设备结构紧凑功能完善便于使用,非常适合用于各类镀膜试验。
CY-MSP180G-PST(Planetary sample table)行星式单靶磁控镀膜仪 | ||||
样品台 | 尺寸 | φ50mm x4 | 转速 | 公转转速0-10rpm可调, 公转自转转速比1:5 |
磁控溅射靶 | 数量 | 2” x1 |
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真空腔体 | 腔体尺寸 | φ180mm X 100mm | 观察窗口 | 全向可视 |
腔体材料 | 高纯石英 | 开启方式 | 顶盖拆卸式 | |
下法兰 | 含有行星式传动机构,焊接真空接口及进气阀 | |||
真空系统 | 机械泵 | 双级旋片泵 | 抽气接口 | KF16 |
分子泵 | 涡轮分子泵 | 抽气接口 | KF40 | |
真空测量 | 电阻规+电离规 | 排气接口 | KF40 | |
极限真空 | 1.0E-3Pa | 供电电源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽气速率 | 前级泵 1.1L/s 分子泵:60L/S | |||
电源配置 | 数量 | 直流电源 x1 | *大输出功率 | 直流电源300W |
其他 | 供电电压 | AC220V,50Hz | 整机尺寸 | 500mm X 320mm X6200mm |
整机功率 | 2kW |
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