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本产品有以下特点：
1.本设备采用石英腔体，易于清洁和样品的放入；
2.采用钨丝篮或者钨舟为发热源，*高温度可达到1700℃；
3.可向真空腔体中通入惰性气体，对腔体进行清洗，也可通入反应气体，进行反应蒸发镀膜。
4.进气口配有针阀，用于调节进气流量。
项目 | 明细 |
供电电压 | AC220V，60Hz |
*大功率 | 1000W |
样品台 | 直径φ60mm； 与蒸发源间距可调，调节范围60mm-100mm |
石英腔体 | O.Dφ180mm x I.Dφ166mm x 100mm |
蒸发源 | 钨丝篮/钨舟 |
*高温度 | 1700℃ |
热电偶 | B型热电偶，工作温度200℃~1500℃ |
真空计 | 电阻式真空规 |
真空接口 | KF16 |
进气接口 | φ6.35mm卡套接头 |
真空泵 | 不含，客户自备 |
整机尺寸 | 330x250x580mm |
