技术参数

设备特点

● 单温区加热模块以及两个转速可调的冷却风扇，在炉体的风道处，可调节熔融物/结晶处界面的温度梯度

● Φ25mm氧化铝样品台，带有温度测试，可**显示坩埚底部的温度和测出炉膛内的温度分布图。

● 电动升降样品台便于客户放样和取样

电源需求

● 电压：AC380V 三相

● 功率：9.5KW

工作温度

● *高工作温度：1500℃

● 连续加热温度：1450℃

● 加热元件：硅钼棒

炉管&法兰

● 刚玉管：尺寸φ40 x 1200 mm L

● 配有一套不锈钢密封法兰，可保证在真空或惰性气氛下进行单晶生长

样品台

● 氧化铝样品台：Φ25*25mmH

● 一个S型热偶嵌入在样品台底部，可实时测量样品的温度 

加热区

1个加热区，加热区总长度240mm

温控系统

● 采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序

● 带有超温和断偶保护

● 控温精度：+/-2℃.

● S型热电偶

冷却风扇

速度可调的冷却风扇安装在炉体底部出口

炉体移动行程 & 速度

● 炉体向上移动，样品就相对于炉体向下移动

● 炉体移动行程200mm

● 移动速度：0.03-3mm/hr