CY-EVS180S-HV-等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪-郑州成越科学仪器有限公司手机版

产品简介

简单介绍：等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪配备了直流溅射靶和热蒸发组件，不但可以用于等离子溅射方式镀金属膜，也可以用蒸发的方式得到碳或者其他金属单质的薄膜。仪器元件高度集成化，在同一个腔体内即实现了两种镀膜功能；本镀膜仪采用304不锈钢腔体作真空腔体，镀膜过程*可见。仪器标配双极旋片真空泵，能够快速达到1.0E-3Pa的真空度,极限......

详细介绍

详情介绍：

等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪适用范围：

扫描电镜样品表面喷金、蒸金喷碳等操作，以及非导体材料试验电极的制作等。

等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪技术参数：

供电电压	AC220V，60Hz
*大功率	1200W
样品台	直径φ65mm；与蒸发源间距可调，调节范围60mm-100mm
真空腔体	材质：304不锈钢 O.Dφ168mm x I.Dφ160mm x 210mm
*高温度	1700℃
热电偶	B型热电偶
真空计	电子式真空计
真空系统	前级泵：浦发MVP030 无油泵抽速30L/min 次级泵：莱宝TURBOVAC 90iX 抽速90L/s
真空接口	KF40
进气接口	1/4卡套接头
整机尺寸	500x350x400mm