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本设备的蒸发源共两组，采取钨舟蒸发源，水冷式铜电极，可*大支持300A的大电流，加热温度*高可达3000℃，可实现多种难熔金属的蒸镀。本设备采用一体化设计，腔体和电控部分左右分置，实现了水电分离，有力的保证了用户的安全。电控部分采用触控屏和按钮面板相结合的设计，真空系统、样品台等辅助功能通过触控屏一键操作，通电蒸发、膜厚控制等通过面板独立操作，在尽可能方便用户的同时规避了误操作的可能。该设备设计完善性能优越，是实验室高精度蒸发镀膜试验的*之选。
多源高真空蒸发镀膜仪 | ||||
样品台 | 尺寸 | *大支持φ150mm样品 | 高度 | 上下70mm可调 |
蒸发源 | 数量 | 钨舟x2 |
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真空腔体 | 腔体尺寸 | φ300x400mm | 观察窗口 | 前置φ100mm含遮光片 |
| 腔体材料 | 304不锈钢 | 开启方式 | 前开门式 |
膜厚控制 | 晶振式膜厚测量仪，可选多通道膜厚控制仪 | |||
真空系统 | 前级泵 | 双极旋片泵 | 抽气接口 | KF16 |
| 次级泵 | 涡轮分子泵 | 抽气接口 | CF160 |
| 真空测量 | 电阻+电离 复合真空规 | 排气速率 | 机械泵1.1L/s 分子泵 600L/s |
| 极限真空 | 1.0E-5Pa | 供电电源 | AC 220V 50/60Hz |
| 抽气速率 | 旋片泵：1.1L/S | ||
流量计 | 一路质量流量计 500sccm Ar气 | |||
控制系统 | PLC自动控制 操作界面：触控屏+操作面板 | |||
其他 | 供电电压 | AC380V,50Hz | 整机尺寸 | 1000mm X 800mm X 1500mm |
| 整机功率 | 5kW | 整机重量 | 350kg |
