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一、应用范围：
本膜厚监控仪适用于真空电阻热蒸发、磁控溅射等镀膜厚度测量，到达设置厚度自动关闭挡板；通过液晶显示使您能连续获取完整的沉积数据，包括速率、厚度和晶体振荡频率。
二、技术参数：
| CY-FTM-V监控仪 |
晶振频率 | 6MHz |
显示方式 | 液晶屏显示 |
操作方式 | 面板按键 |
厚度显示范围 | 0-99μ9999Å |
厚度显示分辨率 | 1Å |
速率显示范围 | 0-9999.9Å |
速率显示分辨率 | 0.1Å/s |
镀膜层数 | 16 |
探头输入 | 4路（任选一路工作） |
工具因子 | 0.01-99.99 |
材料存储 | 52种 |
镀膜巡回次数 | 0-99 |
通 讯 | RS232 |
源/挡板 | 2组继电器触点 |
机箱尺寸 | 480×250×89mm(2U 19”机箱) |
