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○ 产品介绍
CY-O1200-50IS-PECVD是一款等离子增强型CVD系统。此系统由150W射频电源、单温区管式炉、3通道质子流量计控制系统、性能优异的真空泵组成。
○ 技术参数
结构特点 • 150W射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度 • 3通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行**的调控 工作电源 • AC208-220V,50/60Hz • 总功率:4KW 单温区管式炉 • *高温度:1100ºC(< 2h) 连续工作温度:1000℃ • PID温度控制器以及30段可编程温控系统 • 输入功率:220V,单相,功率:1.5KW • 加热区长度:200mm,恒温区:100mm • 炉体开启式设计,以达到对样品快速降温,方便更换炉管 等离子射频电源 • 输出功率:0-150W可调(稳定性:±1%) • 射频频率:13.56MHz(稳定性:±0.005%) • *大反射功率:150W • 匹配:手动匹配 • 射频输出端口:50Ω、N型 • 噪音:<50dB • 冷却: 空气冷却 • 电源: 220VAC, 50/60Hz 石英管 • 高纯石英管 • 尺寸:φ50mm*1200mm L 密封法兰 • 一对不锈钢快接法兰(法兰上安装有KF25真空接头) 真空泵(该部分为选配,单独计费) • 双级真空泵 • KF16卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵 3通道质子流量计控制系统(该部分为选配,单独计费) • 4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的**控制(**度:±0.02%) • 流量范围: 一路: 0~100 SCCM 二路: 0~200 SCCM 三路: 1~200 SCCM • 电压:220V AC 50/60Hz • 气体进出口配件:直径6.35mm不锈钢管 • 不锈钢针阀用于手动控制气体进出 尺寸和重量 • 1400mm L x 600mm W x 1240mm H • 净重:90kg 质保期 • 一年质保期,终生维护(石英管、O型密封圈、加热元件等耗材除外) 质量认证 • CE认证 使用注意事项 • 炉管内气压不可高于0.02MPa • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀 • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 • 石英管的长时间使用温度<1100℃ • 对于样品加热的实验,使用时不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生。
○ 免责声明