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本CVD系统带水冷法兰双路流量计并配有双极旋片泵、水冷机、数字真空计且该CVD系统可抽真空、通气氛用于各种CVD实验。
主要技术参数：
1、真空管式炉
工作电压：AC220/AC110V
工作频率：50Hz/60hz
工作温度：25℃～1100℃
测量精度：0.1℃
控温精度：±1℃
加热速率：建议10℃/min
控温模式：可编程智能PID
曲线段数：30段
预存曲线：100条
炉膛长度：440mm
恒温区长：200mm
数据接口：USB
2、混气系统
测量设备：质量流量控制器
测量量程：500SCCM
气体通道：两通道
连接管道：304不锈钢管
接口模式：6.35卡套接头
气体缓冲：不锈钢缓冲
