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气垫隔振平台
气垫隔振平台外形尺寸
1200×800×800mm
1500×1000×800mm
1800×1000×800mm
1800×1200×800mm
2000×1200×800mm
2400×1200×800mm
性能
平面粗糙度不大于0.8um
平面度不大于0.05mm/㎡
振幅不大于3um
固有频率不大于3Hz
M6安装螺孔间距25×25mm或50×50mm
平台表面材质采用高导磁不锈钢板面
有自动平衡和普通气垫平台2种
天津博君科技有限公司
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