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集成电路无尘室生产厂房的技术特征,因其生产工艺有其灵活性的特点,在没有具体工艺配合的情况下建筑设计是可以先行的。
集成电路无尘室的等级划分标准是什么
无尘车间可以将空气里面的尘埃微粒以及一些有害气体进行清除,并且将温湿度以及流明度控制在某一范围呢,从而达到适应产品生产环境,福建顺势为邦带大家了解。
无尘车间的等级及洁净度标准非常重要,下面小编跟大家一起来科普一下无尘车间的等级分类及洁净度标准:
一级:这个级别的无尘车间主要是用来制造一些集成电路的微电子工业,而相对于集成电路的精确要求是亚微米。
十级:本级别的洁净室最主要是来加工宽少于2微米的半导体工业。
百级:很多人都觉得100级的无尘车间是最重要的,人们错误的认为100级的洁净室,是为了说明无菌环境的要求比较高。一般来说100级的无尘室是用来对于医药工业的无菌制造。
千级:一般用来生产比较高质量的光学产品。
万级:万级无尘车间很大程度上是用来对液压设备或者是积压设备的装配。当然,在有些时候也会用在食品饮料工业,同时在医工业也很常见。
十万级的无尘车间:在很多工业部门都会用到,就像在制造光学产品的时候,有时候也用在比较小的元器件的制造。当然,食品饮料的加工,医药工业的生产也会用到这一级的无尘车间。
洁净标准:
十级洁净标准:
每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.1μm之灰尘粒子不超过350颗,大于或等于0.3μm之灰尘粒子不超过30颗,大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过10颗。 百级洁净标准:
每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.2μm之灰尘粒子不超过750颗,大于或等于0.3μm之灰尘粒子不超过300颗,大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过100颗。
千级洁净标准:
每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过1000颗,大于或等于5μm之灰尘粒子不超过7颗。
万级洁净标准:
每立方英尺室内之空气所含有大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过10000颗,大于或等于5μm之灰尘粒子不超过70颗。
无尘车间的等级分类很多,每一级别的车间都会有其不同程度的适用范围,不同车间需求,不同的生产目的。