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紫外臭氧清洗机（UVO）
工作条件
工作环境温度：5-35℃； 2.2.工作环境湿度：≤70%；
电源：220/240V、50/60HZ。
紫外臭氧清洗机的应用案例包括:
表面清洁、薄膜沉积、紫外光刻、表面杀菌、AFM/STM探针清洁、UV化学反应、光学部件的清洁、改善样品表面亲水性、去除表面单分子层、表面氧化、表面刻蚀/缩微成像等
适用样品类型:石英、硅、二氧化硅、氮化硅、金、镍铝、
砷化镓、氧化铝、玻璃、不锈钢等
仪器基本配置：主机+电源线+说明书
紫外臭氧清洗机（UVO）
技术参数
UV灯类型 | 人造石英紫外格栅灯 |
UV灯主要波长 | 185 nm 和 254 nm |
UV灯规格 | 100 mm x 100 mm |
UV灯电流 | 30 mA (恒定) |
254 nm 输出强度 | 100厘米距离的光强度为20 µW/cm2 |
UV 灯使用寿命 | T80 (2000小时); 8-10年标准日常使用时间 |
电源 | 电源220-240 VAC 保险丝：1A |
选配的AC/AC 变压器 | 110 V / 230V |
大运行时间 | 59 分钟59秒 |
安全特征 | 安全互锁装置, 高温报警, 热熔断路 |
托盘尺寸 | 100 mm x 100 mm |
大样品尺寸 | 100 mm x 100 mm |
大处理样品高度 | 14mm |
外形尺寸 | 宽 204 mm 高 227 mm 长 300 mm |
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