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分析探针台T100
•显微镜放大倍数：7-45倍
•垂直落实LED照明
•卡盘台尺寸4"，平整度5μm
•采用独立真空控制开关控制载物台真空吸附
•基座X-Y轴的移动范围：2"*3"(50.8mm*50.8mm)，精度:10um
•采用X-Y轴同轴控制，能够快速精准定位
•左右各一个针座平台，可同时放置4个针座
•机台尺寸：400mm（W）*400（D）*500mm（H）
•可根据客户定制
