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DX型数字测量显微镜介绍
DX测量显微镜系列是观察、测量和处理系统化的显微镜阵容。
DX型数字测量显微镜特点
●视场宽阔,可得清晰无闪烁正像
●高精度测量,同时具有大测量范围和高精度,适用于各种测量
●可选用高NA物镜,满足长工作距离的测量要求
●照明装置(反射/透射)可选用高亮度LED的照明或卤素照明
●利用可变孔径光阑进行无衍射观察测量
●各类尺寸的标准工作台
●快速释放装置便于测量工件大或测量工件数量多的快速移动工作台
●高位目镜观察
●便捷CCD图像成像,可选配多种CCD数码相机
DX型数字测量显微镜观察成像
偏光观察
观察过滤后只有一个方向振动的光。适于观察具有特殊光学特性的材料,如矿石和液晶。
微分干涉对比观察
在检测金属、液晶和半导体表面的微小划痕和阶差时很有效。
暗视场观察
挡住直射到物体上的光,只观察散射光,通过高对比度能观察到在亮视场看不到的划痕和粉末。
亮视场观察
最普通的观察方式,直接观察从工件表面反射的光。
新功能增强Z轴测量精度
●辅助对焦(FA)
新近研发的分光棱镜辅助对焦(FA)提供更锐利的图案,可在Z轴测量期间提供精确对焦。由于不同物镜焦深差异导致的测量误差被降到。
对焦前端对焦后端对焦
DX型数字测量显微镜规格
●无限远系统,管镜200mm
●倾斜角度30°,瞳孔距离55-75mm,正像
●高眼点,大视场WF10/22
●鼻轮螺纹M26X0.706
●Z轴的长度180mm,微动精度0.002mm,测量精度(at20℃),XY-轴的(2.5+0.02L)um,L=测量长度(mm)在没有放物体分辨率为0.001mm
●12V50W反射卤素灯
●3W高亮度LED光源
●可配置辅助调焦装置(FA)
DX型数字测量显微镜技术参数