电容式传感器与电阻式、电感式等传感器相比有如下一些缺点：

1.高阻抗、小功率，因而所需的输入力很小，输入能量也很低。电容式传感器因带电极板间静电引力极小，因此所需输入能量极小，所以特别适宜用来解决输入能量低的测量问题；

2.温度稳定性好，传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热极小，对稳定性影响甚微；

3.结构简单，适应性强，待测体是导体或半导体均可，可在恶劣环境中工作；

4.动态响应好，由于极板间的静电引力很小，可动部分做得很小很薄，因此其固有频率很高，动态响应时间短，能在几兆赫的频率下工作，特别适合动态测量。

5.可以实现非接触测量，具有平均效应，当采用非接触测量时，电容式传感器具有平均效应，可以减小工作表面粗糙等对测量的影响。