setra西特227超高纯压力传感器精密压力测量

setra西特227超高纯压力传感器精密压力测量

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2022-07-14 14:37:04
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产品简介

setra西特227超高纯压力传感器精密压力测量专用于当今的300mm工具所要求的高密度、模块式block
气体棒和面板。227型1-1/8“的占地面积优化了有价值的空间,其坚固的设计使
其非常适合那些要求长期稳定性、高精度和对恶劣环境格外不敏感的压力测量应
用。

详细介绍

setra西特227超高纯压力传感器精密压力测量

                                                         setra西特227超高纯压力传感器精密压力测量


表压、复合压、绝压可选

PSI
BAR量程可选

11/8"
下法兰安装
Setra  
227型传感器专用于当今的300mm工具所要求的高密度、模块式block
气体棒和面板。2271-1/8"的占地面积优化了有价值的空间,其坚固的设计使
其非常适合那些要求长期稳定性、高精度和对恶劣环境格外不敏感的压力测量应
用。
与其它具有较大死端空泡体积的设计不同,227型具有一个方便洗涤的小排量
传感器舱。所有湿润部件均为优质VAR316LSS材料,电解抛光至5Ra10
max.
)的终饰。每一个传感器都经质谱仪进行过高达1x10-9atm.cc/sec的氦
渗漏试验。
可选择5VDC10VDC4-20mA输出,227型可提供±0.25%全量程或
±1.0%
的读数精度。227型配备了一个节省空间的11/8"C型密封件下安装接口
底座,并可选择多芯电缆、4bayonet连接器和一个9针或15D型连接器
用于电气终端。加上327型的1-1/8"可旋转显示器,该产品包达到了压力测量
及显示的Ji致。
该*设计包括在旋转保护盖下面的侧接近至零点及范围调节,可选择绝队压、
表压或复合压。
Setra  
获専利的可变电容传感器的特点在于一个316L不锈钢膜片和一个绝缘电Ji
板。在传感器主体和电Ji板之间形成一个可变电容器。压力的增加致使膜片略微
变圆,从而增加了电容。通过Setra   *的定制集成电路检测电容值的变化,并
利用获専利的电荷平衡原理将其转换成高度精准的线性DC电信号。
Setra  
的整个超高纯系列均基于Setra   的被广泛认可的电容传感技术,高度精准和
稳定的电压或电流输出信号基本上可抑制电磁干扰/射频干扰(EMI/RFI)。
应用
模块式1-1/8"气体棒和面板
高纯气体传输系统
半导体工艺工具
好处
出色的稳定性,可避免停机
EMI/RFI功能防止假停机
符合CE标准
UltraHighPurity(
超高纯应用压力传感器)
我们提供所有Setra   产品的应用帮助,其中包括人员帮助和文献帮助,
而客户有责任确定该产品的适用性。
227
型的技术规格
性能数据
jing
RSS*(恒定温度下)读数±1.0%±0.25%全量程
非线性,BFSL±0.15%全量程
滞后0.20%全量程
非重复性0.02%全量程
热效应**
补偿范围oF+15+150-9+65
零点漂移%FS/100oF502.01.8
范围漂移%FS/100oF502.01.8
加热漂移0.1%全量程
**
在额定70oF下校验过的设备。
根据此数据而计算的zui大温度误差。
环境数据
温度
工作温度*oF-40+185-40+85
储存温度oF-40+185-40+85
*
工作温度仅是电子设备的温度Ji限。
受压媒介的温度可能要高或低很多。
物理描述
外壳不锈钢
电气连接182.88cm.多芯电缆,Bayonet
连接器或D-型连接器
压力接头下安装“C”型密封
通风通过零点和范围接近孔
重量6.5oz184g
电气数据(电压)
电路3根导线(ExcOutCom
激励1030VDC5VFSO
13
30VDC10VFSO
输出*05VDC0.25.2VDC**
0
10VDC0.210.2VDC**
电流消耗<8mA
*
校准精度为50Kohm负荷,可操作5000ohm或更大的负荷。
**
零点输出的出厂设置在±25mV之内(限5VDC输出)
±50mV(限10VDC输出)。
**
范围(全量程)输出的出厂设置在±25mV之内
(限5VDC输出)或±50mV(限10VDC输出)。
电气数据(电流)
电路2根导线
输出*420mA**
外部负荷0800Ohm
zui
大电源电压(VDC=10+0.02x(接收器正Ji导线的电阻)。
zui
大电源电压(VDC=30+0.004x(接收器正Ji导线的电阻)。
*
出厂时以24VDC回路电压和一个250ohm负荷,进行校准。
**
零点输出的出厂设置在±0.08mA之内。
**
范围(全量程)输出的出厂设置在±0.08mA之内。
压力媒介
316L不锈钢相兼容的液体或气体。
产品规格如有变更,恕不另行通知。
外形图
2.71
68.83
传感器范围及零点调节
0.26
66
0.81
20.57
1.13
28.70
Ø1.05
Ø26.67
1.23
31.24
15
D
3.66
92.96
小排量传感器舱
Ø1.00
Ø25.4
Ø0.86
Ø21.84
1.13
28.70
0.86
20.32
0.86
20.32
Ø0.19
Ø4.83
安装孔
in
mm
2271E5
型号范围压力压力接头输出电气终端精度
2271=227025P=25PSI007B=7BAR
050P=50PSI017B=17BAR
100P=100PSI035B=35BAR
250P=250PSI070B=70BAR
500P=500PSI200B=200BAR
10CP=1000PSI
20CP=2000PSI
39CP=3000PSI
A=
绝队压
C=
复合压
G=
表压
E5=
下安装“C”型密封
1.125”底座)
11=4~20mA
2B=0~5VDC
2C=0~10VDC
33=0.2~5.2VDC
59=0.2~10.2VDC
06=6ft.
多芯电缆
B1=4
引脚Bayonet接头
D9=9
D型接头
D1=15
D型接头
M1=5
针微型DIN接头
F=±0.25%
全量
程(有检定证
书)
J=±1.0%
读数
(有检定证书)
订购信息
写出表格内所有方框内的代码。
示例量程0100PSIG,下安装“C”型密封法兰,输出4-20mA15D连接器,读数精度为±0.25%全量程的217型变送器,
其零件号为2271100PGE511D1F



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