1905年，法国工程师 Leon Creux 发明了涡旋压缩机，而今涡旋泵被用作无油

真空泵。每台涡旋泵都由两个阿基米德螺旋件构成，这两个螺旋件彼此相对并

错开180°，因此形成了若干个大小不一的月牙形凹槽。采用偏心驱动的设

计，运动螺旋件相对于固定螺旋件是按确定轨道旋转，从而缩小了凹槽容积并

将气体从外朝内挤压，实现抽气功能。保持精确的制造公差并选择合适材料对

于涡旋泵质量十分重要。

客户得益

- 无油

- 有效抽速高

- 极限压强低

- 噪音低

- 振动低

- 容许入口为大气压

- 重量轻

- 风冷

- 功率消耗低

- 集成运行时间计时器

典型应用

- 电子束焊接

- 激光器

- 检漏系统

- 加速器/同步加速器

- 表面分析仪器

- 扫描电子显微镜

- 进样室

- 光谱仪

- 照明

- 涡轮分子泵系统前级真空泵

维护周期

为了使泵性能保持不变，在运行了一定的小时数后，需要进行标准保养。

为此，我们提供了完整的保养套件-

运行了8000小时或迟在运行了12个月后使用的小保养套件-

运行了16000小时或迟在运行了24个月后使用的大保养套件