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ITR90/ITR90PB,ITR200S/ITR200SP IONIVAC系列真空变送器
面议PTR90N,PTR225N/PTR237N PENNINGVAC系列真空变送器
面议TTR91N(S)/ TTR96N,TTR911N(C/S)/ TTR916N,TTR101N(S) THERMOVAC系列真空变送器
面议DI/DU200/201,DI/DU2000/2001,DI/DU2001rel线性真空计
面议CTR100N,CTR101N CERAVAC真空变送器
面议TTR200N,PTR200N LoadLock系列真空变送器
面议CM51,CM52真空传感器
面议PHOENIX Vario PHOENIX4.0检漏仪
面议PHOENIX Magno and Magno dry PHOENIX4.0检漏仪
面议RC310C/RC310WL检漏仪遥控器
面议PHOENIX Quadro and Quadro dry PHOENIX4.0检漏仪
面议L320i Fab PHOENIX移动式氦检漏仪
面议秉承莱宝Phoenix氦质普检漏仪精准、稳定、长使用寿命等优点,莱宝真空2018年12月全新推出LEYSPEC系列RGA残余气体分析仪,为半导体 、镀膜、冷冻干燥、热处理及科研等行业提供了更多的过程控制分析诊断支持.
莱宝LEYSPEC残余气体分析仪RGA的典型用途:
检漏
判断真空品质
检测工艺气体
提高品质和良品率
故障诊断分析
判断低温泵再生周期
产品类别
产品系列分别提供了100、200、300原子质量单位的解决方案。
LEYSPEC view版特别适用于高真空设备,科研、环境气氛检测及追踪中的残余气体分析。
LEYSPEC ultra版用于复杂的残余气体分析,灵敏度高,耐烘烤温度高,可检分压低。
更多信息请联系莱宝:安博元科技 info
安博元科技无锡有限公司
地址:江苏省无锡市梁溪区民丰路198号1207
电话: (周)
传真:
邮箱:info
邮箱:sales (销售)
邮箱:tech (技术)
莱宝LEYSPEC残余气体分析仪RGA 客户受益:
过程可控
LEYSPEC自带数显,易于现场管理
赠送软件易于使用及分析并有报警功能
莱宝LEYSPEC残余气体分析仪RGA的典型应用:
半导体生产设备
镀膜、显示行业
真空热处理
真空干燥
研发
Leybold Name | LEYSPEC view 100 | LEYSPEC view 100S | LEYSPEC view 200 | LEYSPEC view 200S | LEYSPEC ultra 200S | LEYSPEC ultra 300S |
Mass Range (amu) | 1-100 | 1-100 | 1-200 | 1-200 | 1-200 | 1-300 |
Mass filter type | QMS | QMS | QMS | QMS | QMS | QMS |
detector type | Faraday cup | EM/Faraday Cup | Faraday cup | EM/Faraday Cup | EM/Faraday Cup | EM/Faraday Cup |
Sensitivity (A/mbar) | 1x10-5 | 400/1x10-5 | 1x10-5 | 400/1x10-5 | 400/2.5x10-4 | 400/2.5x10-4 |
Minimum detectable | 1x10-10 | 1x10-14 | 1x10-10 | 1x10-14 | 1x10-11 | 1x10-12 |
Max operating pressure (mbar) | 1x10-4 | 1x10-4 | 1x10-4 | 1x10-4 | 1x10-4 | 1x10-4 |
Filament material | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 |
operating temp (°C) | 10-40 | 10-40 | 10-40 | 10-40 | 10-40 | 10-40 |
Max sensing temp (°C) | 120 | 120 | 120 | 120 | 250 | 250 |
Max. bake out temp (elec. removed) (°C) | 250 | 250 | 250 | 250 | 300 | 300 |
connection flange | DN40CF | DN40CF | DN40CF | DN40CF | DN40CF | DN40CF |
Power input | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W |
Weight (kg) | 2,6 | 2,84 | 2,6 | 2,84 | 3,21 | 3,21 |
IP | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 |
Serial communication | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 |
Software | ECA | ECA | ECA | ECA | ECA | ECA |
Resolution | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) |