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仪器介绍
椭圆偏振法测量的原理很早就已提出,相应的测试方法和设备也不断地被改进和创新,使得椭圆偏振法成为重要的测试手段,并广泛地应用在光学、材料、生物、医学等各个领域。其中测量薄膜材料的厚度、折射率和消光系数是椭圆偏振法基本和重要的应用之一 。
SGC-2自动椭圆偏振测厚仪产品特点
· 仪器采用消光式椭圆偏振方式测量
· 精度高、自动控制
· 光源采用氦氖激光,波长精度高
· 仪器采用USB接口与电脑连接
· 配套软件对采样数据具有多种处理方式,适用于不同需要
· 软件有完整版及学生版两种版本,适于教学要求
SGC-2自动椭圆偏振测厚仪参数
测量范围: | 1nm-400nm |
测量ZUI小值: | 小于等于1nm |
镀膜折射率范围: | 1.300-10.000 |
入射角: | 40°-90° |
方位角读数范围: | 0°-180° |
测量精度: | ±5nm |
厚度: | 小于等于10nm |