一，德国LEYBOLD莱宝真空泵SV65B特征及用途
低温冷凝泵是目前所有的真空泵中抽速大、工作压强范围宽、极限真空度高(气氦制冷机低温冷凝泵可以达到10-10Pa,
液氦型低温冷凝泵可以达到10-13Pa)的真空泵，而且可以抽除所有气体，能获得全无油清洁真空。由于具有这些突出的优点，
气氦制冷机低温冷凝泵在需要大抽速、超高清洁真空的半导体、新型显示器件及其他高科技研究和产业中获得了Et益广泛的应用。
低温冷凝泵的缺点是价格很高，运行中需要再生而不能*连续抽气。
扩散泵系统是比较常用的高真空系统，一般可以获得10-1～10-5Pa的工作真空，使用特别设计的扩散泵及采用性能良好的扩散泵油，
再在泵的人口端使用挡油板和液氮冷阱，加以充分的烘烤除气措施，可以获得10-7Pa的极限真空。扩散泵系统的特点是对各种气体都能抽除，
适宜长时间连续工作，扩散泵没有噪声，价格比较低。缺点是开启或停止系统工作很耗时，工作效率低，油污染严重。
用机械泵作为前级泵的涡轮分子泵系统，是目前常用的高真空系统，有取代扩散泵系统的趋势。分子泵系统可以获得10-1～10-6Pa的工作真空，
可达到lO-8Pa的极限压强。分子泵系统的优点：对各种气体的抽速差别不大，起动快、油污染很轻，称之为半无油系统；能耗较低，
容易做到自动控制。