产品型号 (RPC-1305)

主要部件

部件名称

参数指标

控制系统

集成触摸屏

7寸电阻触摸屏

等离子激发

电容耦合式（CCP）

工作时间

0-9999s（任意设定）

真空腔体

腔体容量

5.3L

腔体尺寸

内径：150mm; 长度：300mm

腔体材质

304不锈钢

舱门

铝合金舱门（配不锈钢铰链）

样品支架

铝合金筛板，厚度：3mm

射频源

信号频率

13.56MHz ±0.005%

功率范围

0-100W任意设定（功率等级200W/300W可选）

功率稳定度

±0.1%

匹配器

匹配类型

全自动匹配

匹配时间

≤3s

气路

气体测量

浮子流量计

气体通道

2通道

气体1量程

10～100ml

气体2量程

10～100ml

气路接头

外径：6mm气管

真空

真空测量

集成数显真空计

真空泵类型

双极旋片泵式

抽气速率

2L/s（4L/s可选）

极限真空度

0.067Pa

抽气接口

KF16-不锈钢波纹管

整机

整机功率

1kW

整机总尺寸

580(L) *715(D)* 240(H)mm；（其中舱门+拉手+接头：195mm； 防滑底座：10mm）

整机重量

24kg（不含真空泵及配件）

工作电压

220Vac 50/60Hz

工作环境

-10℃ -- 40℃

冷却方式

强制风冷