控制范围
     a)  水蒸气流量： 150-500L/min可调（气体标态），精度±1% 
     b) 水蒸气温度：200-1000 ℃ 可调, 常用850 ℃，精度±1 ℃
     c)  水蒸气压力：常压
     d) 工作模式：间歇式，8h开，8h间隔
2. 控制要求
     a) 水蒸气*气化
     b) 蒸发段管道采用SUS316L材质
     c) 高温过热

工艺说明：

 （1）由储罐中的去离子水，通过多通道恒流泵加入精密蒸发器中，去离子水的流量连续可调

 （2）精密蒸发器将液态水*蒸发，并且保证蒸汽流量波动小于2%，同时将蒸汽过热到200摄氏度

 （3）过热蒸汽通过SUS316L管道通入第二段高温过热器中(SUS310S材质)，将温度提升到所需的高温（200-1000摄氏度）