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纯水设备在电子工业主要是电子元器件生产中的重要作用日益突出，纯水水质已成为影响电子元器件产品质量、生产成品率及生产成本的重要因素之一，水质要求也越来越高。在电子元器件生产中，高纯水主要用作清洗用水及用来配制各种溶液、浆料，不同的电子元器件生产中纯水的用途及对水质的要求也不同。
纯水设备包括：反渗透设备；一个容器：一台泵和超滤设备。至少一种超滤设备经过容器和泵与两个顺序连接的反渗透设备连接。其中，个反渗透设备是高压螺旋型设备，具有耐氯材料的膜，第二个是螺旋低压型设备，具有高分解材料膜。
