反应舱

材料：铝
有效尺寸：1000 x 700 x700mm
容积：490L
舱门：装有可视窗口
托盘：5个 尺寸：858 x 672mm

真空度测量

皮拉尼真空计

真空泵

干式真空泵泵组

频射发生器

根据客户应用需求定制

控制系统

PLC可实现下列功能：

• 自动控制反应过程；
• 根据处理材料设定不同的处理工艺参数；
• 测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标；
• 监测所有的运行指标，保证各项参数在设定范围之内；
• 设定操作进入密码。

电源

380V AC, 三相，50Hz, 40A

反应气体

一个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC）

气体输入

直径1/4英寸（6.45mm） 管道；输入压力：1Bar

尾气排放

直径28mm 输出端口

性能

急停开关；真空泵保护锁；高温保护锁；CE认证。