离子体是继固态、液态、气态之后的物质四态，当外加电压气体的着火电压时，气体分子被击穿，产生包括电子、离子、原子和在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些电子、等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在短的时间内发生分解，并发生后续的反应以降解污染物的目的。　
特点：　　
① 能解决污染，作业环境空气质量。　　
② 运行程序化、能化，可连续运行或间断式运行。　　
③ 不产生臭氧，对呼吸系统;对管道及设备无腐蚀性，并对仪器仪表有保护作用。　　
④ 设备可依附于通风系统上，不要占用很大的空间。　　
⑤ 操作维护简单，配件换方便，无专人值守。　　
⑥ 主要设备和部件原装，设备长(离子管使用2万小时以上，主体设备使用年限15年以上)。　　
适用场所：　　
① 食品加工业(用于水产、肉禽、蔬菜等食品加工车间，冷藏室等)。　　
主要功能： 空气中粉尘浓度;孢子、、异味。　　
② 污水、垃圾处理厂等市政行业(用于污水厂、污水泵站、污泥堆场、粪便处理场等）　
主要功能：有害气体;悬浮物及有害气体、异味;减少灰尘、杀灭。　　　　③ 室内空气净化(用于饭店、机场、车站、游轮、客房、商店、展览馆、火车站、体育馆等)。　　　　主要功能：减少空气中可吸入颗粒物;侵害及交叉;室内空气的离子浓度。　　　　④ 化学工业的静电、除尘(用于化学工业、电脑机房、造纸工业、电子工业、印刷业等)。　　
主要功能：减少空气中的灰尘;静电、异味、挥发性溶剂。　　
工作原理　　
先废气经均流板过滤棉进入设备时，由设备高压稳定高频放电，产生1.5万伏特至2万伏特高压，击穿废气。此阶段中，长链、多链废气分子由于键能较弱，约束力较小。很容易被击穿化学键破裂，从而变成小分子化合物，此为一阶段净化。　
等离子废气净化设备工作原理　　
其次，随废气进入设备的水分子、氧分子被高压击穿断裂，生成强氧化基团羟基、臭氧分子等。这些强氧化基团与废气分子充分接触氧化，加快反应进程。整个反应干净，能量利用率高，净化效率高。　　　　等离子功能段可以激发污染物能量，促使长链、多链污染物分子的分子键断裂重组，使难处理的污染物降解为较易处理的低碳污染物。　　
等离子体化学反应过程大致如下：　　
从以上反应过程可以看出，电子先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到污染物分子中去，那些获得能量的污染物分子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团。然后这些活性基团与氧气、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。　　　　另外，电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。