半导体洁净环境检测用0.1μm粒子计数器3950-沈阳加野科学仪器有限公司手机版

详细介绍

半导体洁净环境检测用0.1μm粒子计数器3950

应用范围

作为传感器嵌入到设备装置中

洁净室的清洁度管理

高清洁度区域的管理

半导体洁净环境检测用0.1μm粒子计数器3950

重视可视性，大画面，触摸屏显示器，可在附带软件上显示测试数据

双通道： 0.1μm 0.3μm

额定流量：2.83umin

通过实现超小型化设计，使粒子计数器嵌入装置设备成为可

0.1 um测量

4.3英寸彩色液晶

标配RS-485,Ethernet,USB

小型化！重量大幅度轻量化

以往的尺寸很难嵌入组装在半导体制造等装置中，

本产品通过压倒性的小型化，使传感器嵌入设备中使用变为简便易行。

半导体洁净环境检测用0.1μm粒子计数器3950

品名		尘埃粒子计数器
型号		3950-00
粒子测量	测试方法	光散射法
	粒径通道	2粒径（0.1、0.3μm）
	额定流量	0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4)
	测量时间	6秒~99分59秒（1次测量时间）
	间隔时间	6秒~99分59秒（测量周期）
	采样次数	1~999次或连续测试
	地点设定	99个地点
	测量方式	重复、单次、连续、计算
	测量数据显示时间	1~10秒
	测量数据显示	累计值∑ 差分值△及柱形图
	最大可测浓度	10,000,000个/m³
	计数效率	50±20%（相对于最小可测粒径附近的PSL粒子） 100±10%（相对于最小可测粒径的1.5倍~2倍的PSL粒子）（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）
	伪计数	<1个/35min
	粒径分辨率	15%以下（相对0.3μm的PSL粒子）（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）
	气源	内置泵
显示器		4.3英寸彩色液晶触摸屏
通迅功能	本体	USB（Host用于打印机、USB存储；Device用于与PC链接） Ethernet、RS485（9600、19200、38400 baud）
数据存储	媒体	内存
数据存储	数量、格式	最大10,000个、CSV格式
显示语言		英文、日语
电源		AC100~240V
使用环境	本体	15~35℃、0~85%RH （无结露）
外形尺寸		W150 X H163 X D228 mm
重量		3.4kg

半导体洁净环境检测用0.1μm粒子计数器3950

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尘埃粒子计数器3950-2不带<a class=