FIB-SEM超高分辨双束扫描电镜系统

主要特点

TriglavTM-新设计的超高分辨（UHR）电子镜筒配置了TriglavTM物镜和*的探测系统

以*的方式结合了三透镜物镜和crossover-free模式

*的且可随意变化的探测系统可用于同步获取不同的信号

超高的纳米分辨率：15keV下0.7nm，1keV下1nm

极限超高分辨率：1keV下1nm

可变角度的BSE探测器，优化了低能量下能量反差

实时电子束追踪(In-flight Beam TracingTM）实现了电子束的优化

传统的TESCAN大视野光路（Wide Field OpticalTM）设计提供了不同的工作和显示模式

有效减少热能损耗，的电子镜筒的稳定性

新款的肖特基场发射电子枪现在能实现电子束电流达到400nA，且电子束能量可快速的改变

为失效分析检测过程中的新技术节点提供了*的解决方案

适合精巧的生物样品成像

FIB-SEM超高分辨双束扫描电镜系统可观察磁性样品

优化的镜筒几何学配置使得8’’晶元观察成为可能（SEM观察和FIB纳米加工）

*的实时三维立体成像，使用了三维电子束技术

友好的，成熟的SW模块和自动化程序

Cobra FIB镜筒：高性能的Ga FIB镜筒，实现超高精度纳米建模

在刻蚀和成像方面是水平的技术

Cobra保证在短时间内完成剖面处理和TEM样品制备

FIB分辨率<2.5nm

FIB-SEM断层分析可应用于高分辨的三维显微分析

适合生物样品的三维超微结构研究，例如组织和完整的细胞

低电压下的性能，适合于刻蚀超薄样品和减少非晶层