AFC质量流量控制器

被测气体分别流经两个层流区，一路通过主流量管道，另一路通过毛细测量管。两个管路的设计保证流体处于层流状态，因此两个管路流量比是恒定的。两个精密的温度感应绕组在测量管上被加热，当有流量产生时，被加热的气体从上游带走热量到下游的感应绕组上。产生温差和感应圈电阻的变化是成比例的。

测量绕组的电阻值与瞬时流量成线性比例关系，采用惠斯顿电桥来检测测量绕组的电阻变化。根据被测气体的质量流量，输出0…5 V D C或者4…20mA信号。经过两个层流区的气体混合后流过具有特定孔径的电磁比例阀，质量流量测量与电磁比例阀组成闭环的控制系统，使流量稳定在设定的流量值上。在一定范围内温度和压力的变化不会影响流量测量值。

AFC质量流量控制器技术参数

精确度：(包括线性度)  15℃到25℃和5-60psia±1 %满量程
                      0℃到50℃和5-150psia ±2 %满量程
                      特殊温度和压力需要特殊校准
重复性：              ±0.15%满量程
响应时间：            设定点在满量程的20%-*时，0.6-1.0秒内达到±2 %精度
温度系数：            小于0.05%满量程/℃
压力系数：            小于0.01%满量程/psi（0.07bar）
*气体压力：        25 psig（1.73bar）
大气体压力：        1000 psig（70bar）
大压差：            DFC2600和DFC3600 50psi（3.4 bar）DFC4600 40 psi（2.8 bar）
气体和环境温度：      41℉-122℉（5℃-50℃）
通讯接口：            标准RS485， 可选RS232
输出信号：            线性度0-5VDC,（小负载电阻2000ohms）
                      0-10VDC, （小负载电阻4000ohms）
                      0-10mA 可选（回路电阻0-500 ohms）大噪音干扰±20mV峰值
电源保护：            电路板有内置极性保护电路。保险丝提供电源输入保护
接液材质：            316不锈钢、416不锈钢、铜和Viton ® O型圈 可选氯丁橡胶O型圈。
方位灵敏度：          水平到垂直旋转低于15度；标准校准是在水平位置
连接：                DFC26：1/4" 卡套螺纹 
                      DFC36：1/4"卡套螺纹
                      DFC4600：标准 3/8 " 卡套螺纹 
                      可选1/8" 或3/8" 卡套螺纹或1/4" VCR ®
电源：                ±15 VDC 450mA大电流
校准选项：            标准10点NIST校准 可选10种气体标定数据 （另收费）