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在铝合金本体上使用十字交叉滚柱导轨，轻量型高精度直动平台。
◦平台面是长方型，能有效地确保较长行程。
◦DM型大平台面确保行程达到70mm（＋/－35mm）。粗微调型使用螺距5mm的螺纹副，能够快速移动较长的行程。同时使用微调用的微分头能进行微小的调整。
▶请注意，根据装在平台上的样品的形状，也有可能无法固定或不能确保充分的行程。
| 台面尺寸 | 100×160mm |
| 行程 | ±25mm |
| 导轨形式 | 十字交叉滚柱导轨 |
| 主要材料 | 铝合金 |
| 表面处理 | 黑色氧化 |
| 承载能力 | 588N(60.0kgf) |
| 移动精度/直线度 | 2μm |
| 移动精度/俯仰 | 40″ |
| 移动精度/偏摆 | 25″ |
| 承载力矩/俯仰 | 60.8N・m |
| 承载力矩/转动 | 60.8N・m |
| 承载力矩/偏摆 | 58.9N・m |
| 扭矩刚度/俯仰 | 0.087″/N・cm |
| 扭矩刚度/转动 | 0.087″/N・cm |
| 扭矩刚度/偏摆 | － |
| 平行度 | 200μm |
| 移动平行度 | 30μm |
技术数据
