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手动行程可达±6.5mm。电动行程可达30um，分辨率20nm以下，方便快捷,每个可以调整。拨号盘式把手的微动调整，即使与微仪表头并用也能无抵抗地使用。
通过在手动级主机上追加皮佐辅助机构，可以进行20nm以下的微动调整。适用于需要高分辨率的位置调整的手动级单元和系统。
尺寸为25x25、40x40、60x60mm。
信息：
对于微动机构的调整请使用PASC专用控制器(PASC)，在piez辅助平台上，
附带有辅助控制器专用连接电缆(2m)
通用指标：
品类 | TADC-251SPA | TADC-401SPA | TADC-601SPA |
型号 | TADC-251SRPA | TADC-401SRPA | TADC-601SRPA |
尺寸[mm] | 25×25 | 40×40 | 60×60 |
轴型 | X軸 | ||
粗动移动量[mm] | ±3 | ±6.5 | ±6.5 |
微动移动量 | 25µm以上 | 30µm以上 | 30µm以上 |
微操作位置 | 侧面 | ||
移动量/1旋转[mm] | 0.5mm | 0.5mm | 0.5mm |
微仪最小读取[mm] | 0.01mm | 0.01mm | 0.01mm |
微動最小分解能 | 20nm以下 | 20nm以下 | 20nm以下 |
主要材質 | 铝 | ||
耐荷重[N] | 39.2（4.0kgf） | 49(5kgf) | 49(5kgf) |
移動精度/真直度 | 3μm | 3μm | 3μm |
平行度[μm | 30 | 30 | 30 |
移動平行度[μm] | 10 | 10 | 10 |
質量[kg] | 0.07 | 0.16 | 0.25 |
外观图：
