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VEGA钨灯丝扫描电镜
LaB6发射源
TESCAN能提供介于肖特基与钨灯丝性能之间的LaB6(六硼化镧)作为电子发射源。LaB6的优势包括:稳定的电子发射源(与场发射电子源相比),在阴极较低温度下可获取比较高的束流(与钨灯丝电子源相比)。这就意味着在整个范围的加速电压和很长的使用寿命中,LaB6可以保持很高的亮度和分辨率。基于其非常高的发射电流,LaB6是需要大电子束流应用领域的正确选择。
现代电子光路
*的四透镜大视野光路设计提供各种各样的工作与显示模式
以电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同"光阑转换器"
透镜与线圈的优质材料使成象率达到20ns/像素,并减少了动态扭曲效应
结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing™),可模拟和优化电子束
镜筒设计提供了全自动电子光路设置,镜筒不含机械对中结构
3维电子束技术提供了实时立体图像
检修方便
只要很短的停机检查后就能保持电镜长时间处于较好状态。每个细节设计得很仔细,使得仪器的效率大化,操作简化。
自动操作
通过一次点击就可以进行自动灯丝加热和电子枪对中。众多的自动程序减少了用户的操作时间,并提供了操作的自动导航与自动化分析。通过内置脚本语言(Python)用户可以进入软件大多数功能,包括电镜控制、样品台导航、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户也可以自定义软件的自动操作。
用户界面友好的软件
用户界面有各种语言版本
多用户界面(包括了EasySEMTM模式)不同账户的权利使常规分析过程更快
图像文件管理与报告生成
内置的自动系统检查
通过局域网或互联网可实现电镜远程诊断
模块化软件体系结构
VEGA钨灯丝扫描电镜标准的软件模块包括了:测量工具、图像处理、对象区域等
选配软件包括了:颗粒度分析、三维表面重构等