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特点：
平移滑台采用粗调+微调结构，灵敏度优于0.5μm
旋转滑台灵敏度优于23.4″
稳定性高，具有较高性价比
| 型号 | UFP1A | UFP1B | UFP1C-L | UFP1C-R | UFP2T-L | UFP2T-R |
| 台面尺寸(mm) | 60×60 | 45×45 | ||||
| 台面厚度(mm) | 20 | 25 | 30 | - | ||
| 移动量 | 粗调：±6.5mm；精调：±0.3mm | θx：±3°；θy：±3° | ||||
| 导向机构 | 线性滑块导轨 | 交叉滚柱导轨 | 交叉滚柱轴环 | |||
| 驱动 | 分厘卡 | |||||
| 主体材料及表面处理 | 铝合金，黑色阳极氧化处理 | |||||
| 自重(Kg) | 0.28 | 0.32 | 0.4 | 0.64 | ||
| 灵敏度 | 粗调：≤10µm；精调≤0.5µm | θx：≤25.2″；θy：≤23.4″ | ||||
| 静态平行度 | ≤60µm | - | ||||
| 运动平行度 | ≤10µm | - | ||||
| 运动直线度 | ≤3µm | - | ||||
| 水平负载(Kg) | 5 | 5 | 5 | 1.5 | ||
